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HVA 71000 Series 严苛工艺真空闸阀 硬核登场

HVA 71000 Series 严苛工艺真空闸阀 硬核登场

2026-03-06
严苛真空环境的工艺难题,由 HVA 71000 Series Harsh Process Valve 一站式破解!专为 MOCVD、ALD、PECVD 等接触强腐蚀性化学物质、高温度的苛刻工况设计,从结构创新到材质甄选,从性能突破到维护便捷,全方位适配工业高要求,更有Sicher Aero 现货一台,手慢无,极速解锁高效生产!

核心优势 直击行业痛点

面对严苛工况下阀门卡滞、维护繁琐、粒子超标等问题,HVA 71000 Series 以创新设计实现全面突破:
极致耐用:无活动部件设计,从根源避免工艺副产物对轮组、轴承、连杆的影响,适配各类高要求工艺场景;
双重安全保障:坚固的双密封结构设计,大幅提升设备运行安全性,杜绝工艺泄漏风险;
近乎免维护:密封波纹管与工艺环境完全隔离,有效减少部件损耗,降低维护频次;
缩短停机时间:支持原位清洁与 O 型圈快速更换,无需复杂拆卸,大幅提升设备稼动率;
优化泵体性能:具备泵过载保护 / 隔离功能,搭配可选集成软泵设计,减少粒子产生,让工艺更洁净。

精准参数 定义硬核性能

核心材质

  • 阀体与闸板:304 不锈钢,兼顾强度与耐腐蚀性
  • 焊接波纹管轴封:AM-350,强密封、高耐用
  • 阀盖 / 闸板密封:FKM 或 FKKM/FFPM 弹性体,适配严苛介质环境

温度耐受

  • 阀体最高耐受:150℃
  • 执行器最高耐受:100℃,适配高温工艺场景

安装与使用寿命

  • 安装位置:无限制,灵活适配各类设备布局
  • 无维护循环次数:>250,000 次(依工艺工况略有差异),超长使用寿命降低更换成本

真空性能

  • 压力范围:1×10⁻⁹ mbar,适配超高真空工况
  • 氦泄漏率:<1×10⁻⁹ mbar l/s,极致密封
  • 关闭状态压差:任意方向测试达 7 bar,高压密封稳定
  • 开启状态压差:1 bar,启闭顺畅无卡顿

驱动与控制

  • 手动款:手摇曲柄设计,操作便捷
  • 气动款:气源压力 55-80 psi,适配自动化产线
  • 电磁款:120V AC/24V DC 50/60 Hz,精准电控
  • 位置指示器:最大 115VAC/28 VDC,20mA,运行状态实时可视

现货稀缺 由 Sicher Aero 实力保障

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