HVA 71000 Series 真空闸阀|Sicher Aero 1 台现货速发
HVA 71000 Series 真空闸阀,专为 MOCVD、ALD、PECVD 等接触强腐蚀性物质、高温的严苛工况设计,结构与材质适配工业高要求,可有效解决严苛真空环境下的工艺难题。Sicher Aero 现有 1 台现货,稀缺货源先到先得,快速交付助力高效生产。
核心优势
耐用性强:无活动部件设计,可避免工艺副产物对部件的影响,适配高要求工艺场景
安全可靠:双密封结构,有效杜绝工艺泄漏风险
维护便捷:密封波纹管与工艺环境隔离,减少部件损耗;支持原位清洁、O 型圈快速更换,减少停机时间
优化性能:具备泵过载保护 / 隔离功能,可选集成软泵设计,减少粒子产生,保障工艺洁净度
核心材质
阀体与闸板:304 不锈钢,兼顾强度与耐腐蚀性
焊接波纹管轴封:AM-350,密封好、耐用性强
阀盖 / 闸板密封:FKM 或 FKKM/FFPM 弹性体,适配严苛介质环境
温度耐受
阀体最高耐受 150℃,执行器最高耐受 100℃,适配高温工艺
安装与寿命
安装位置无限制,适配各类设备布局
无维护循环次数>250,000 次(依工况略有差异),降低更换成本
真空性能
压力范围:1×10⁻⁹ mbar,适配超高真空工况
氦泄漏率:<1×10⁻⁹ mbar l/s,密封性能稳定
关闭状态压差:任意方向达 7 bar,开启状态压差 1 bar,启闭顺畅
驱动与控制
手动款:手摇曲柄,操作便捷
气动款:气源压力 55-80 psi,适配自动化产线
电磁款:120V AC/24V DC 50/60 Hz,电控精准
位置指示器:最大 115VAC/28 VDC,20mA,运行状态实时可视
现货保障
Sicher Aero 备有 1 台 HVA 71000 Series 现货,无需漫长货期,快速发货。提供选型指导、安装建议及售后技术支持,一站式解决采购、适配需求,助力设备升级、备件更换高效衔接,保障生产顺畅运行。
